MGA-8000多組分痕量氣體分析(xi)儀，是基于(yu)離軸積分腔輸出光譜技(ji)術(shu)（OA-ICOS）開發的(de)一款高精度、高靈(ling)敏(min)度的(de)痕量氣體分析(xi)儀。?

?設備采用紅外激光離軸入射至高精度腔(qiang)室，有效光程(cheng)高達幾千米，極大(da)地(di)提(ti)高了探(tan)測極限，結合獨特的(de)內(nei)部溫度和(he) 壓力控(kong)制(zhi)技術(shu)，為客戶提(ti)供超(chao)穩定的(de)測量，適(shi)用于電子(zi)氣體生產(chan)應用領(ling)域的(de)分(fen)析檢(jian)測，檢(jian)測方(fang)法及(ji)技術(shu)與國際(ji)接軌。

檢測組分：

• ?分析儀可對大部分電子氣及其雜質組分進行檢測。

性能特點(dian)：

儀(yi)器特點：

• ppb級別的靈敏度、精度和準確度?
• 可同時檢測多種氣體，集中控制，智能化管理?
• 單線光譜技術，不受背景氣體交叉干擾影響?
• 動態量程測量范圍，可兼顧大、小量程?
• 檢測限低、靈敏度高、漂移小